E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 Revision:SEMI E66-0611 - Superseded means of categorizing the risks

means of categorizing the risks

本文書の目的は，半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し，また，要求事項に対して立証するためのテスト手順を標準化することである。このテスト方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている。

the list is presented sorted by gas code

1 Applicability — This Safety Guideline applies to equipment used to manufacture

SEMI S8-0307E (editorial revision)

E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 Revision:SEMI E66-0611 - Superseded means of categorizing the risksglobal Gases Committee2011513global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org200311 Referenced SEMI Standards SEMI E29 Terminology for the Calibration of Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components