M06600 - SEMI M66 - Test Method to Extract Effective Work Function in Oxide and High-K Gate Stacks Using the MIS Flat Band Voltage-Insulator Thickness Technique Revision:SEMI M66-0706E - Superseded SEMI E40-0709 (technical revision)

SEMI E40-0709 (technical revision)

orgで入手可能となる。初版は2006年7月発行。

本書では，ステンレス鋼表面のクロム富化した不動態酸化層の成分と厚さを特定し，配管，継ぎ手，バルブ，その他の部品の表面汚染を検出するためのテスト方法について記述する。この手順には，オージェ電子分光法（AES）による表面元素成分の検出と測定が関わる。この手順では，受け入れたままの表面から酸化膜層を貫通しベース金属にまで到る，クロム，鉄，ニッケル，酸素，炭素の深さ方向の成分プロファイルを求める方法についても記述する。本測定方法により，酸化層の厚さおよび不動態化処理された領域全体のクロム富化に関する情報が得られる。

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