Semiconductor Ergonomics for Maintenance and Service StdPbc-0813 このスタンダードの意図は,システムとサブシステムの性能を改善に至る,半導体処理装置用のRF電力供給仕様を提供することである。それは,システムまたはサブシステム構成要素を供給されなければならない必須の文書と同様に性能基準を概説する。この文書のゴールは,安定性,反復性と重要な電気的なパラメータ,例えば供給電力,電流および電圧,システムのインピーダンスが操作空間内で決定できるような,十分に特徴づけられたRF電力供給システムを生産するために必要な仕様を提供することである。
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