E06300 - SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ／ローダーと装置間のスタンダード（BOLTS-M）インタフェースの機械的仕様 StdVol-Facilities 本文書の目的は，半導体産業で使用される水酸化ナトリウム（固体）に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。SEMI C1の通り代替法の妥当性が確認されたなら，それを使用してもよい。

本文書の目的は，半導体産業で使用される水酸化ナトリウム（固体）に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。SEMI C1の通り代替法の妥当性が確認されたなら，それを使用してもよい。

This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on July 1

Specifications and analytical procedures are introduced for each type

SEMI E133-1110 (technical revision)

SEMI E121 — Guide for Style & Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications

E06300 - SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ／ローダーと装置間のスタンダード（BOLTS-M）インタフェースの機械的仕様 StdVol-Facilities 本文書の目的は，半導体産業で使用される水酸化ナトリウム（固体）に対する要求条件を標準化し，またこれらのスタンダードをサポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。SEMI C1の通り代替法の妥当性が確認されたなら，それを使用してもよい。global Physical Interfaces & Carriers Committee2010827global Audits and Reviews Subcommittee201010 www. semi. org1997200411 300 mm1SEMI E15. 1SEMI E47. 1, SEMI E62SEMI E1. 91325 Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E15. 1 Specification for 300 mm Tool Load Port SEMI E19 Standard Mechanical Interface (SMIF) SEMI E47. 1