E19700 - SEMI E197 - Specification for Large Tray Stack FOUP (LTSF) Revision:SEMI E197-0226 (Preliminary) - Current SEMI E134-1225 (technical revision)

SEMI E134-1225 (technical revision)

This Standard covers PCL specifications for both Fixed Buffer Equipment and Internal Buffer Equipment

XMLメッセージ通信に関する仕様は確立された，公開され照会し得る，XMLメッセージ通信に関する現実的な関係業界スタンダードを複数利用する。SEMIスタンダードへ応用する際，個々の状況でメッセージ通信に直接要求される必要性がある場合にのみ，既存の関係業界スタンダードを拡張するに止めている。本スタンダードは既存のスタンダードの焼き直しや競合する仕様を作り出そうとするものではないが，既存のスタンダードと整合し使用例を引用することは意図している。

有効な通信性能を達成するための，標準的なメッセージの対話シーケンス

Xylene (o-

E19700 - SEMI E197 - Specification for Large Tray Stack FOUP (LTSF) Revision:SEMI E197-0226 (Preliminary) - Current SEMI E134-1225 (technical revision)NOTICE: This is a Preliminary Standard. Preliminary Standards are approved for publication by a single chapter of a technical global committee for information and comment prior to letter balloting for its adoption as a Full consensus Standard. Preliminary Standards are published for a period of no more than two years, unless a publication extension is granted by the International Standards Committee. This Preliminary Standard will be removed from