F04600 - SEMI F46 - Revision:Default Title This Document specifies how Sensor/Actuator/Controller

This Document specifies how Sensor/Actuator/Controller devices interoperate on the network specific for the MOTIONNET Public specification referenced in the § 4

この水分の発生は，多くの過ちに陥りがちであるので，スタンダードによって供給された予測水分濃度と分析によって測定されたレベルが，一致することを要求する。同意されたレベルは，標準水分に対して要求される正確さの度合いに依存して変わる。しかしどんな場合でも，測定し予測した結果は，水分基準の全レンジにわたって10%以内にあるべきである。もしそうでなければ，予測に基づき，どんな他のパラメータでも疑わしいと思われたものは，物理的測定で確証した後に，妥当性検査を繰り返すべきである。

SEMI G52-90 (Reapproved 1104)

previously published in 1995

if necessary

F04600 - SEMI F46 - Revision:Default Title This Document specifies how Sensor/Actuator/ControllerThis guide was technically approved by the global Facilities Committee and is the direct responsibility of the North American Facilities Committee. Current edition approved by the North American Regional Standards Committee on April 15, 1999. Initially available on www. semi. org August 1999; to be published September 1999. NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been