M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様 Revision:SEMI M23-0703 - Superseded irrespective of the technology employed

irrespective of the technology employed

replaced by SEMI PV22)

スケジューリングコンポーネントは装置のアイドルタイムを減らすため，（サブストレートおよび耐久材に関する）材料搬送と処理を調整することによって所用時間（TAT）を最小限に抑えることができる。スケジューリングコンポーネントはセットアップタイムを最小限にするように活動を並べることができる。予定された装置ダウンタイムおよび予定外の装置ダウンタイムに対応して所用時間への影響を最小限にすることもできる。TAT全体を最小限に抑えるだけでなく，緊急ロットのプライオリティに対応するため，緊急ロットを可能な限り短い時間でプロセスフロー内を移動させ，それによって影響を受けるプライオリティの低いロットのスケジューリングを調整することもできる。

従業員リソースモデルをコンフィグレーションする。

• Process fluids (liquids and gases)

M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様 Revision:SEMI M23-0703 - Superseded irrespective of the technology employedSEMI M23SEMI M23. 60703 Subordinate Standards: SEMI M23. 1 0600 50 mm SEMI M23. 2 1000 3(76. 2mm) SEMI M23. 3 0600 SEMI M23. 4 0999 100 mm SEMI M23. 5 1000 100 mm V GROOVE SEMI M23. 6 0703 150 mm Referenced SEMI Standards SEMI M39 Test Method for Measuring Resistivity and Hall Coefficient and Determining Hall Mobility on Semi Insulating GaAs Single Crystals