M02900 - SEMI M29 - 300 mmシッピングボックスの仕様 Revision:SEMI M29-1296 (Reapproved 1110) - Inactive Depending on the intended application

Depending on the intended application

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本基準包含下列章節：

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M02900 - SEMI M29 - 300 mmシッピングボックスの仕様 Revision:SEMI M29-1296 (Reapproved 1110) - Inactive Depending on the intended applicationGlobal Silicon Wafer CommitteeJapanese Silicon Wafer Committee200388Japanese Regional Standards Committee20039www. semi. org2003111996 IC300 mm Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Provisional Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E57 Provisional Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers